Кремниевые пластины для микроэлектроники
Цена по-запросу
Кремниевые пластины широко используются в микроэлектронике.
Кремниевые пластины изготавливаются диаметром от 2″ до 6″, основные параметры электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.
| Параметры | Значения | |
| Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк. P-type /Бор | |
| Диаметр | 50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм | |
| Точность диаметра | минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм | |
| Ориентация | (100), (111), (110) | |
| У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см | |
| Отклонение толщины от номинала в партии
|
минимальное: 5 мкм 5 мкм 5 мкм 8 мкм 15 мкм |
стандартное: 10 мкм 10 мкм 15 мкм 15 мкм 20 мкм |
Прогиб:
|
минимальное: 20 мкм 25 мкм 30 мкм 35 мкм 50 мкм |
стандартное: 25 мкм 30 мкм 35 мкм 40 мкм 60 мкм |
| Поверхность | резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная | |
| Содержание кислорода | стандартно 10*1017 ат/cм3 (20ppma) по указанию заказчика (7-9)*1017 aт/cм3 (14-18 ppma) |
|
| Содержание углерода | стандартно 10*1016 ат/cм3 (2ppma) по указанию заказчика 5*1016 ат/cм3 (1ppma) |
|
С этим товаром смотрят
