Кремниевые пластины широко используются в микроэлектронике.
Кремниевые пластины изготавливаются диаметром от 2″ до 6″, основные параметры электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.
Параметры | Значения | |
Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк. P-type /Бор | |
Диаметр | 50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм | |
Точность диаметра | минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм | |
Ориентация | (100), (111), (110) | |
У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см | |
Отклонение толщины от номинала в партии
|
минимальное: 5 мкм 5 мкм 5 мкм 8 мкм 15 мкм |
стандартное: 10 мкм 10 мкм 15 мкм 15 мкм 20 мкм |
Прогиб:
|
минимальное: 20 мкм 25 мкм 30 мкм 35 мкм 50 мкм |
стандартное: 25 мкм 30 мкм 35 мкм 40 мкм 60 мкм |
Поверхность | резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная | |
Содержание кислорода | стандартно <10*1017 ат/cм3 (<20ppma) по указанию заказчика (7-9)*1017 aт/cм3 (14-18 ppma) |
|
Содержание углерода | стандартно <10*1016 ат/cм3 (<2ppma) по указанию заказчика <5*1016 ат/cм3 (<1ppma) |
Похожие товары