Кремниевые слитки широко используются в микроэлектронике. Кремниевые слитки изготавливаются диаметром от 2 до 8 дюймов.
Параметры | Значения |
Метод выращивания | CZ |
Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк; P-тип /Бор |
Диаметр | от 2″ (50мм) – до 8 (200мм) |
Ориентация | (100), (111), (110) |
У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см |
Содержание кислорода | стандартно <10*1017 ат/см3 (<20ppma) (по указанию заказчика (7-9)*1017 ат/см3 (14-18 ppma) |
Содержание углерода | стандартно <10*1016 ат/см3 (<2ppma) по указанию заказчика <5*1016 ат/см3 (<1ppma) |
Плотность дислокация | <10cм-2 |
Похожие товары