Тензопреобразователи используются для формирования непрерывного сигнала на выходе, который пропорционален уровню давления на вхде преобразователей. Данные приборы широко применяются в датчиках давления как первичные преобразователи.
В качестве тензочувствительного элемента микроэлектронного тензопреобразователя используют двухслойную сапфиро-титановую мембрану, состоящую из титановой мембраны, а также из присоединенной на всей поверхности к ней сапфировой мембраны благодаря специального диффузионного высокотемпературного технологического процесса.
Рис.1 Схема тензопреобразователя
- Тензочувствительная схема из кремния р-типа;
- Омические контакты;
- Сапфировая мембрана (AI2O3);
- Титановая мембрана (Ti);
- Жесткий центр чувствительного элемента.
Наименование | Значения | |
Интервал рабочих давлений, МПа | 0-0,25 до 0-150 | |
Предельное давление перегрузки, % | ||
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 0,6 МПа | 200 | |
для рабочего инетервала от 0 - 1 МПа до 0 - 25 МПа | 160 | |
для рабочего инетервала от 0 - 40 МПа до 0 - 60 МПа | 150 | |
для рабочего инетервала от 0 - 100 МПа; 0-150 МПа | 125 | |
Давление продавливания (разгерметизации), % | ||
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 0,6 МПа | 250 | |
для рабочего инетервала от 0 - 1 МПа до 0 - 60 МПа | 200 | |
для рабочего инетервала0-100 МПа; 0-150 МПа | 150 | |
Диапазон выходного сигнала (FS) должен быть в пределах, мВ | 270-420 | |
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа | 100-200 | |
для рабочего инетервала от 0 - 0,4 МПа | 150-250 | |
для рабочего инетервала от 0 - 0,6 МПа | 200-300 | |
Разрешающая способность, % | 0,01 | |
Вариация, % | 0,05 | |
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0-1,6 МПа | 0,1 | |
Нелинейность, % | 0,15 | |
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 1,6 МПа | 0,2 | |
Инетервал рабочих температур | -50...80 °С | |
Допустимая погрешность от воздействия температуры окружающей среды | ||
изменение начального значения выходного сигнала, мВ/10°С | ±1,5 | |
изменение инетервала выходного сигнала, %/10°С | -0,2±0,5 | |
Дополнительная погрешность от воздействия температуры окружающей среды для исполнения | ||
изменение начального значения выходного сигнала, мВ/10°С | ±0,2 | |
изменение диапазона выходного сигнала, %/10°С | 0,1±0,2 | |
Начальное значение выходного сигнала в нормальных условиях, мВ | ±10 | |
Величина сопротивления моста в нормальных условиях, кОм | 4,5±0,35 | |
Сопротивление изоляции в нормальных условиях, МОм | 100 | |
Электрическая прочность изоляции, В | 500 | |
Питание стабилизированным постоянным током, мА | 1-2 |
Похожие товары